信息摘要:
現(xiàn)行法規(guī)規(guī)定了從N1到N9的清潔級(jí)別。潔凈車間工程主要包括室內(nèi)裝修、凈化空調(diào)系統(tǒng)、純氣、水系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)等建設(shè)工程。潔凈車間有其特殊性,其生產(chǎn)車間的特點(diǎn)十分鮮明。隨著半...
現(xiàn)行法規(guī)規(guī)定了從N1到N9的清潔級(jí)別。潔凈車間工程主要包括室內(nèi)裝修、凈化空調(diào)系統(tǒng)、純氣、水系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)等建設(shè)工程。潔凈車間有其特殊性,其生產(chǎn)車間的特點(diǎn)十分鮮明。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,集成電路生產(chǎn)中對(duì)潔凈車間的潔凈度要求越來(lái)越高
1. 地面處理,如果地基基礎(chǔ)不好,完成后涂殼(環(huán)氧樹脂),如果PVC,會(huì)起泡;
2. 當(dāng)建筑物樓層高度不夠時(shí),隱蔽工程難度較大,如風(fēng)管、純水管道、電力電纜的安裝等。
因此,如果是租一間車間來(lái)建造潔凈車間,建議從地面到橫梁的高度應(yīng)為4m;(潔凈車間的標(biāo)準(zhǔn)高度為2.8m),應(yīng)預(yù)留至少1m的技術(shù)夾層空間。如果要求潔凈室的高度,則潔凈室從地板到橫梁的高度要高一些。
3.高空作業(yè):由于集成電路及TFT-LCD工廠樓層高度普遍較高,施工難度很大,這也對(duì)施工過(guò)程的安全保障提出了更高的要求。由于這類廠房的潔凈區(qū)通常在整個(gè)廠房的二層,所以在施工過(guò)程中,我們采用分層作業(yè)的施工方法。首先,我們構(gòu)造的地板層清潔區(qū)域,然后以地板層為接口,分成較高層和較低層建筑,并完全躺低三明治層上的安全保障,確保施工人員的人身安全在干凈的房間里。
4. 大面積精度控制:隨著工業(yè)的發(fā)展,潔凈面積越來(lái)越大,對(duì)地面精度控制的要求也越來(lái)越高。我們的做法是配置專業(yè)的測(cè)量師,建立一個(gè)交叉基準(zhǔn)線作為基準(zhǔn)源,建立一個(gè)覆蓋全廠的基準(zhǔn)線體系。在施工過(guò)程中,通過(guò)激光掃地機(jī)調(diào)節(jié)安裝高度,并利用經(jīng)緯儀進(jìn)行連續(xù)重測(cè),從而在大面積潔凈車間內(nèi)將精度控制在要求的范圍內(nèi)。
5. 全過(guò)程潔凈施工控制:與其他車間相比,潔凈車間的特點(diǎn)是潔凈管理和控制。清潔管理與控制是指從施工開始到施工結(jié)束的全過(guò)程控制。只有通過(guò)全過(guò)程控制,建成的車間才能滿足要求。一般來(lái)說(shuō),潔凈車間的施工都是按照潔凈室的裝修作為控制主線來(lái)考慮的。潔凈室的建設(shè)要在全廠關(guān)閉后才能開始。如未封閉,應(yīng)采用臨時(shí)封閉方法,確保封閉施工。